بانی مسجد ایلچی در زمان شاه سلیمان صفوی ، صاحب سلطان بیگم دختر نظام الدین حکیم الکلک ایلچی بوده که در سال 1097 هجری قمری بپایان رسیده است. در این مسجد چند کتیبه در ایوان و اطراف محراب و سردر آن بخط محمد رضا امامی باقی است.
در کتیبه های محراب این مسجد دو تاریخ سال 1093 و 1094 هجری در روی کاشی معرق نقش شده است .
