در این مسجد که بناهای آن از اواخر قرن چهارم هجری قمری ساخته شده و سپس در قرن بعد تکمیل گردیده کتیبه های کوفی و ثلث متعددی که گچبری شده وجود دارد ، از مطالعه متن این کتیبه ها چنین معلوم میشود که مرمت و تزیین شبستان بزرگ و ایوان و صفه های طرفین آن بهمت ابو طاهر حسین فرزند غالی فرزند احمد در سالهای 553 تا 555 هجری و بسرپرستی استاد محمود اصفهانی انجام یافت است. 

گذشته از ایوان جنوبی این مسجد دارای سه ایوان دیگر بشرح زیر میباشد: 

1- ایوان شمالی بنام ( صفه صفا)  

2- ایوان غربی بنام ( صفه امام حسن)  

3- ایوان شرقی بنام ( صفه امیر جمله )  

در ایوان جنوبی مسجد بر لوح سنگی فرمانی از زمان شاه عباس کبیر مورخ بسال 1024 هجری قمری درباب تخفیف مالیات شیعیان اردستان نقر شده است. 

در قسمت شمال غربی مسجد مناره آجری کوتاهی دیده میشود. در ایوان شمالی که بنام صفه صفا خواند میشود طبق کتیبه مورخ بسال 946 هجری قمری در زمان شاه طهماسب صفوی تجدید و تعمیر شده است.